二手 KLA / TENCOR Archer 10 XT #9280138 待售
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已售出
ID: 9280138
晶圓大小: 12"
Overlay measurement system, 12"
With ASYST Isoport Load port, P/N: 9700-9129-01 REV. K
Dual load ports EFEM
BROOKS AUTOMATION Handler
With pre-aligner and robot
SBC Controller
Robot controller
Signal light tower: Red / orange / green
Main body
Handler
Monitor
I/O Interface board
Floppy Disk Drive (FDD)
CD ROM Drive
Tape drive
Pneumatic box
Optic
Z-Stage
Printer
Shelf
Keyboard
Mouse
Signal light tower
Missing parts:
BROOKS AUTOMATION Robot blade, P/N: 6-0002-0999-SP
BROOKS AUTOMATION, P/N: 6-0052-0887-SP
Controller
EMO
Floatation controller
(5) Motion controllers
Computer
Shutter module
Lamp housing module
PZT Controller
DC Transformer
Hard Disk Drive (HDD)
Power supply:
230 VAC, 11.3 A, 50/60 Hz, Single phase
208 VAC, 12.5 A, 50/60 Hz, 2 Phase.
KLA/TENCOR Archer 10 XT是一種下一代的掩模和晶圓檢測設備，旨在滿足最苛刻的半導體制造要求。該系統由領先的檢測技術提供商KLA開發,具有先進的模式識別、3D表面測量、數字圖像關聯和預測分析等多種頂級工具。KLA ARCHER10XT是TENCOR系列超高精度、用於晶圓和掩模制造、封裝和故障分析的高速成像解決方案系統中的最新型號。TENCOR ARCHER 10XT強調速度、精度和魯棒性,提供高達133 nm分辨率的高級成像功能。該設備的掃描電子顯微鏡（SEM）提供晶片上晶體管門等物品的超高分辨率數字圖像。這可以在一次掃描中完成，從而能夠應用廣泛的檢查策略。機器可以快速有效地進行檢查,並生成詳細、準確的數據,以幫助以無與倫比的速度、精度和準確性識別缺陷或可變性。KLA/TENCOR ARCHER 10XT具有先進的DefectTeller™ 3D表面測量功能,可測量無與倫比的Global CD （GCD）的表面粗糙度,同時識別和繪制高重復性和準確性的缺陷。該工具的UltraArt™預測分析和數字圖像關聯功能使用戶能夠準確、可靠地測量其設備或掩碼上的特征的精細細節。資產還可以通過額外的性能提升輕松升級，推動晶圓檢測的極限。借助KLA/TENCOR獨家的「交換和查看」升級流程,客戶可以升級其TENCOR Archer 10 XT,而無需購買新的硬件組件,從而實現最大價值和總體流程性能優化。KLA ARCHER 10XT是眾多制造商的理想解決方案,從智能手機等次波長設備到前沿半導體設備的高級節點處理節點。該模型提供了出色的缺陷檢測、成本節約和可靠的制造性能,為晶圓和掩模檢查設定了新的標準。
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