二手 KLA / TENCOR Archer 10 XT+ #9351476 待售

KLA/TENCOR Archer 10 XT+是一種高度先進、集成的掩模和晶圓檢測設備,可提供廣泛的高級成像功能。該系統提供晶圓和光學標線的快速、準確的現場成像,旨在最大限度地提高效率並縮短檢查時間。KLA Archer 10 XT+包括高分辨率光學器件、全自動計算機控制的對準單元、電動x-y級以及自動對焦掃描功能。這臺機器能夠成像500毫米x 550毫米的視場,每像素分辨率高達0.4 μ米。其集成的光學模塊包括LED照明、可調閃光強度和可變激光強度，以實現晶圓和掩模圖樣的最佳照明。該工具還配備了獨特的「透視補償」工具，使資產能夠可視化低至0.35 μ m的模式。TENCOR Archer 10 XT+提供高速成像,吞吐量速度是市場上任何其他集成機型的兩倍。這種速度保證了缺陷的快速檢測和診斷，提高了工藝產量和質量保證。在內部,設備采用為應用程序定制的高級軟件算法來處理直接來自其高精度成像光學器件的圖像。這些算法壓縮數據以保留原始信噪比，同時檢測和表征現場圖像中的缺陷。軟件還為操作員提供了自定義系統設置的靈活性以及直接從圖像處理器查看高分辨率圖像的能力。設備的整體靈活性和模塊化確保它能夠針對不同的掩模和晶圓應用進行高效定制。根據應用程序的不同,可以對計算機應用多種配置。例如，可以在工具中加入非球面光學和屈光光學，以提高圖像質量，並且可以很容易地配置多級成像系統。簡而言之,Archer 10 XT+是一種高級集成掩碼和晶圓檢查資產,它提供了快速的吞吐量、高分辨率、可自定義的配置以及專門為掩碼和晶圓成像設計的軟件算法。其先進的成像能力顯著提高了檢測缺陷的能力，顯著提高了工藝產量和質量保證。