二手 KLA / TENCOR Archer 10 #9104743 待售

KLA/TENCOR Archer 10是一種先進的光學成像設備，設計用於掩模和晶圓檢查。它是臨界尺寸掃描電子顯微鏡（CD-SEM）等半導體應用的理想選擇，能夠高精度測量集成電路（IC）的關鍵特性。KLA Archer 10的核心是一個獨特的光學光刻系統，將激光、接觸和電子束成像與突破性的自動模式識別（APR）單元結合在一起。這使得TENCOR ARCHER10能夠在測量極其復雜的模式時獲得前所未有的準確性和吞吐量。它可以精確測量小至0.1微米的設備,並自動識別具有各種不同形狀、大小和特征的陣列。TENCOR Archer 10還具有高分辨率CMOS成像機，可捕獲晶圓和掩模的8K分辨率圖像。此工具允許對基板和缺陷進行極高分辨率的查看,使用戶能夠在進入生產過程之前識別和解決任何問題。此外，其集成光學故障分析（OFA）資產允許在晶圓通過模型時對晶圓缺陷進行實時檢測和評估。最後，ARCHER10還配備了強大的數據采集設備，可以收集和同步多達四個獨立的成像源。該系統效率很高,可以對單個IC進行深入調查,例如IC故障分析或IC性能調整。總體而言，KLA ARCHER10是一個強大而先進的裝置，旨在提供可靠、準確和快速的口罩和晶片檢查。其板載特性、高度靈敏和先進的圖像傳感器以及實時模式識別能力的結合，使其成為半導體檢測中的領先機器。