二手 KLA / TENCOR Archer 10 #9237503 待售

KLA / TENCOR Archer 10
ID: 9237503
晶圓大小: 8"
Overlay measurement system, 8" SMIF.
KLA/TENCOR Archer 10是一種頂級的線掩模和晶圓檢測設備,設計用於對半導體制造中使用的光掩模和晶圓進行可靠和準確的測量。該系統能夠以很高的精度測量非常小的特征。它還能夠對復雜的三維結構進行測量。KLA Archer 10單元的中心組件是高功率光源和高效光譜濾波器的線性陣列,使其能夠成像並檢測光強度和顏色的變化。該機器還包括一個稱為「雜光擋板」的光學工具,它消除了光源的散射,並確保只對樣品特征進行成像。一旦樣品被照亮,就會檢測到樣品的特征,資產可以通過手動或自動分析來測量樣品的大小、形狀和位置。此分析包括檢測不規則,如條狀形成,以及粒子密度、外來粒子缺陷頻率、斷層表征和表面映射。TENCOR ARCHER10模型還提供了高級計量功能,使其能夠測量樣本特征的高度、寬度和地形。它還可以測量透明和不透明表面的透射和反射率,以及這些表面的顏色和亮度。此外,設備還配備了各種控制和數據采集軟件程序,使操作員能夠進行復雜的自動化或手動測量。它還包括一套分析和成像軟件,包括用於檢測粒子和成像缺陷的自動聚焦。Archer 10系統配備了高速視覺單元,並提供了廣泛的圖像采集設備和探測器來捕捉樣品的高分辨率圖像。機器還可以測量其他特性,如模模均勻性,可用於在單個會話中評估多個樣本。ARCHER10具有強大的設計和先進的成像功能,是一種令人印象深刻的掩模和晶圓檢查工具,能夠提供可靠和準確的測量。它提供快速、高效、準確的分析,是半導體制造的理想選擇。
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