二手 KLA / TENCOR Archer 100 AIM+ #293606200 待售

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ID: 293606200
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
Overlay measurement system, 12" EFEM Does not include HDD 2007 vintage.
KLA/TENCOR Archer 100 AIM+是一款先進的掩模和晶圓檢測設備。它將高級圖像分析和計量能力與優化的計量平臺和ACIS自動檢查員系統(AIS)相結合。設計用於檢測分辨率高達一億像素的高精度感光器件掩模和剛性光掩模圖像。KLA Archer 100 AIM+針對快速吞吐量進行了優化,能夠每小時檢查多達10個晶圓。TENCOR Archer 100 AIM+先進的影像分析能力允許檢查多種影像方法。它可以容納三維(3D)、二維(2D)、亞微米特征檢查。此外,Archer 100 AIM+還配備了「智能掃描」功能,使設備能夠在感興趣的領域(如缺陷)進行磨練,以最大程度地減少數據收集和處理時間。KLA/TENCOR Archer 100 AIM+的AIS特性能夠檢測各種各樣的光掩模形狀和尺寸。它旨在檢測顆粒汙染、缺陷、劃痕和蝕刻等。此外,它還可以識別晶片上的各種缺陷,而不會影響晶片的性能。KLA Archer 100 AIM+還包括一個高級計量平臺。該平臺使用戶能夠測量關鍵光掩模結構的形狀和大小,以進行過程監控。計量平臺靈活靈活,可根據客戶的個人要求量身定制。它還具有自動化的數據收集和數據分析功能。TENCOR Archer 100 AIM+也是考慮到工人安全的設計。包括閉環人機接口(HMI),它允許控制機器中的所有功能。HMI設計有幾種觀點和布局,以滿足操作員的人體工程學需求。此外,還提供一系列警報,以確保人員安全。總體而言,Archer 100 AIM+是一種先進的掩模和晶圓檢測工具,經過優化,可實現快速吞吐量,具有先進的圖像分析和計量能力。其人體工程學設計符合人員安全,確保數據收集和分析的準確性。KLA/TENCOR Archer 100 AIM+是檢查高精度光敏器件掩模和剛性光掩模圖像的理想選擇。
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