二手 KLA / TENCOR Archer 100 #9221534 待售

KLA/TENCOR Archer 100是一款先進的掩模和晶圓檢測設備，旨在保證半導體的質量。該系統采用先進的計量技術，以高達24線性視場（LFOV）每秒的速度，在全視場範圍內以高達0.05 µm的分辨率高精度檢測掩模和晶片上的缺陷。該裝置采用兩種獨特的技術組合，可視化和分析晶片表面：獲得專利的高光譜成像和光譜衍射成像。光譜衍射成像能夠以0.05 µm的分辨率檢測晶體缺陷，因為它利用了不同晶體結構選擇性吸收的電子衍射模式的差異。另一方面，高光譜成像利用可見光來檢測和表征缺陷。成像技術的結合提高了缺陷識別的有效性，提供了缺陷表征的準確性和可重復性。KLA Archer 100的設計經過優化，達到最大效率和靈活性，具有高對比度LED照明站和直觀軟件等先進功能。基於LED的照明站最大限度地提高了整個顯微鏡視野中照明的均勻性，同時提供了傳統顯微鏡中看不到的特征的更大對比度。此外，KLA直觀的軟件平臺使機器非常人性化，能夠適應不同的應用，包括晶圓邊緣映射、缺陷分配、粒子計數分析和Bokeh分析。該工具還提供了廣泛的配件和選項，進一步擴大了其可用性範圍。這些選項包括各種高分辨率目標和照明解決方案、各種過濾器、串聯參考標記和自動對齊工具。總體而言，TENCOR Archer 100是有效的掩模和晶圓檢驗的絕佳工具，為研究實驗室和生產線提供了高速和準確性。它結合了先進的成像和分析技術，加上創新的設計特點，使其成為半導體晶片質量保證的傑出選擇。