二手 KLA / TENCOR Archer 200 AIM #9176636 待售

KLA/TENCOR Archer 200 AIM掩模及晶圓檢驗設備是一種精密光刻工具，用於檢測200 mm制造的半導體產品中的缺陷。該工具利用亮場成像、暗場成像和散射光成像，準確檢測圖樣特征的光學透射和反射率變化。該系統能夠捕獲每個特征的高分辨率圖像,以分析模式或開放/短褲等缺陷。這樣可以全面檢查平紋特征,並有助於確保生產高質量的最終產品。KLA Archer 200 AIM單元具有兩個自動化子系統：自動掩碼檢查子系統和自動晶圓檢查子系統。這兩個系統協同工作，提供了光刻工藝的全貌。AMI分析晶片曝光前光掩模上的圖樣和任何缺陷。這樣可以及早發現光刻過程中可能出現的任何潛在問題。AWI在晶片暴露和開發後對其進行檢查。這樣可以更詳細地檢查模式，並測量預期模式與實際結果之間的任何可能的差異。TENCOR Archer 200 AIM機具有許多優點，有助於降低半導體生產成本。首先,該工具可以一次檢查口罩和晶片,從而提高生產吞吐量。第二，資產提供半自動缺陷審查，因此無需手動檢查和識別每一個缺陷。此外,該模型還提供多種成像和分析功能,包括測量陣列輪廓和線寬的能力,以及檢測裂紋和其他缺陷的能力。最後,設備能夠以每小時140個晶片的速度檢查晶片。總之，Archer 200 AIM掩模晶片檢測系統是檢測和分析光刻工藝缺陷的有力工具。該單元提供卓越的成像功能和各種有用的自動化分析功能。此外,它的高吞吐量允許更快的生產和降低成本,使其成為200 mm半導體生產的理想選擇。