二手 KLA / TENCOR Archer 200 AIM #9245432 待售
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KLA/TENCOR Archer 200 AIM是一款專用的面罩和晶圓檢測設備,設計用於支持先進的0.25um和0.15um功能尺寸。它能夠有效地檢查細線特征,並且能夠進行高度準確的測量和報告。該系統圍繞一系列光學檢查技術建立,其核心是一個快速、自動化的數據收集和分析單元。KLA Archer 200 AIM是一款模塊化機器,可選擇多個檢查模塊,使客戶能夠根據自己的特定需求配置最佳解決方案。該工具能夠檢測各種缺陷,包括汙染顆粒、總臨界尺寸誤差、針孔、圖樣缺陷、缺失層、顆粒、抗出血等。資產由兩個主要組成部分組成;圖像捕獲站(ICS)和測量模型。ICS是一種光學對齊的檢查工具,具有自動晶圓對齊、掃描和圖像捕獲功能。它旨在讓操作員能夠快速準確地掃描晶片,最終目標是獲得一個「幹凈」的圖像,沒有可見的子分辨率缺陷。該設備還配備了一個功能強大的綜合檢查軟件,旨在迅速識別和提醒操作員註意任何違規行為或潛在問題。測量系統是一個可編程的單元,有一套強大的綜合軟件工具,旨在檢查和分析數據。測量機帶有一個算法和規則庫,旨在識別和量化潛在缺陷,並提供詳細報告。該工具旨在提供最佳效率;確保不浪費時間重復手動審查或冗余測量。TENCOR Archer 200 AIM是生產級應用的高速資產。通過將可靠的數據分析與快速、自動化的圖像捕獲和分析相結合,該模型為掩碼、晶圓和BR檢測提供了全面的解決方案。此外,它是一種可擴展的設備,允許客戶配置系統以滿足高峰需求,而不會影響質量。
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