二手 KLA / TENCOR Archer 300 LCM #9232002 待售

KLA/TENCOR Archer 300 LCM是一種用於高質量、自動控制光刻工藝步驟的掩模和晶圓檢測設備。該系統的重點是提供生產先進半導體器件的頂級工藝。該機組包含多臺自動參數設置的激光望遠鏡、可變模式陣列和單單元格窗口缺陷檢查。這使得它能夠在各種高級工藝步驟中快速評估晶圓或掩模檢查要求。KLA Archer 300 LCM利用雙圖像技術，允許用戶將兩個圖像並排比較，並拒絕蒙版或晶片脫落。機器的小窗口允許它拒絕即使是最微小的缺陷。該工具的完全自動化功能拒絕用於制造步驟的掩碼,從而大大減少了下遊錯誤和缺陷的發生。這樣可以降低總體生產成本,更容易及早發現任何缺陷,並確保更好的工藝效果。此外,資產的內置FMEA（故障模式和效果分析）異常值檢測功能突出顯示潛在問題並節省寶貴的時間。TENCOR Archer 300 LCM旨在集成到現有的生產工作負載和流程步驟中,從而減少了手動幹預的需求。此外,該模型還可以與各種掩碼支持系統配合使用。這為用戶提供了界面和支持系統方面的多功能性,簡化了流程管理並提高了數據完整性。設備還配備了易於使用的用戶界面，優化了過程控制，簡化了過程參數的創建和監控。此外,Archer 300 LCM提供了廣泛的報告庫,可快速識別和糾正任何流程問題。KLA/TENCOR Archer 300 LCM為先進的光刻工藝和掩模/晶圓檢測提供了全面、可靠的封裝。該系統先進的激光技術確保了準確的過程控制和可靠的芯片制造，消除了過程中的猜測，使生產可靠的設備變得更加容易。該設備得到KLA著名客戶服務和技術支持的支持,為用戶提供過程控制和成品設備質量方面的安心。