二手 KLA / TENCOR Archer 300 LCM #9234791 待售

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KLA / TENCOR Archer 300 LCM
已售出
ID: 9234791
晶圓大小: 12"
Overlay measurement system, 12".
KLA/TENCOR Archer 300 LCM是一種用於薄膜顯微設備缺陷處理快速準確檢測的面罩和晶圓檢測設備。它設計用於檢查150毫米(6英寸)和200毫米(8英寸)晶片上的晶體、裂紋和顆粒等關鍵缺陷。KLA Archer 300 LCM配備了包括高分辨率激光顯微鏡(LM)和高分辨率檢查相機在內的先進光刻系統。LM變焦範圍為0.5至4.5mm,使其能夠精確識別低至6.25 µm的特征。該檢查相機的分辨率為1.5µm,具有16位像素深度,便於區分好壞特征。LM和照相機都采用了先進的缺陷預分析算法,有助於減少操作員識別時間。該單元可以方便地快速準確地獲取圖像,有助於減少檢測周期時間。它還具有確保準確檢查的內置校準功能。TENCOR Archer 300 LCM還具有多種圖像編輯工具,使操作員能夠快速識別和測量可能存在的缺陷。該機配備了功能強大的自動缺陷檢測算法,自動識別和分類缺陷類型。這有助於減少人工檢查的需要。該工具還以數字方式記錄和存儲圖像,以便於參考。Archer 300 LCM可以連接到KLA知識產權(IP)和自動故障解決軟件,提供額外的數據查看功能。該資產還與大多數第三方晶圓檢測軟件和數據分析平臺兼容,允許用戶遠程查看、分析和報告結果。KLA/TENCOR Archer 300 LCM是一款可靠、快速、易於使用的面罩和晶圓檢測型號,符合並超過行業標準。其高分辨率成像和自動化缺陷檢測技術可快速高效地提供徹底、準確的檢查,有助於減少缺陷和質量控制所需的時間和成本。
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