二手 KLA / TENCOR Archer 300 #293800548 待售

KLA / TENCOR Archer 300
ID: 293800548
晶圓大小: 12"
Overlay measurement system, 12".
KLA/TENCOR Archer 300是一款先進的掩模和晶片檢測設備,旨在優化光掩模、晶片和標線質量控制。它配備了最新的成像技術,並提供全光檢查,以高精度、高速度、高重復性的方式識別和分析光掩模、光刻晶片和標線上的缺陷。該系統提供了快速、準確的索引和檢查整個光掩模或晶片沒有接觸-允許立即反饋識別和分析缺陷。此外,用戶可以調整檢查設置,甚至進一步優化檢查過程的準確性和速度。KLA Archer 300具有4百萬像素圖像傳感器和高精度XY傾斜級,可提供高分辨率圖像,準確識別缺陷,包括小顆粒、薄殘留物和其他通常在10納米以下發現的異常。設備可以實時檢查整個掩模或晶片,捕獲覆蓋最寬範圍的信息。此外,TENCOR Archer 300允許用戶為特定類型的缺陷設置閾值,這些閾值可用於後續的重新檢查。該機器還通過智能缺陷識別提供基於規則的晶片光刻自動修復。維修過程在幾分鐘而不是幾小時內完成,導致生產吞吐量提高,產量提高。使用Archer 300,用戶可以輕松查看結果,包括缺陷列表、掩碼打印圖像、特征尺寸以及其他測量數據,以進行準確分析和評估。總體而言,KLA/TENCOR Archer 300是檢查和測量光掩模和晶片的理想工具,可提供準確、可重復和可靠的結果,以確保最佳質量控制。
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