二手 KLA / TENCOR Archer 300 #293821842 待售

KLA/TENCOR Archer 300是一種掩模和晶圓檢查設備,旨在為先進半導體制造過程中的關鍵控制點（CCP）提供自動化、高通量、精確的光學檢查。KLA Archer 300是一個模塊化系統，旨在提供高分辨率、自動檢測光掩碼、標線和IC晶片中的缺陷。它將先進的光學和成像系統與復雜的軟件算法相結合，以識別和報告缺陷。該單元的核心是一個KLA專有的「Surfscan」輪廓和缺陷計量，它使用兩個不同的成像通道來捕獲每個掩模和晶圓上的全方位地形特征。機器可以檢測到小到0.2微米大小的缺陷，提醒操作員，讓他們立即采取糾正措施，避免昂貴的流程流動。TENCOR Archer 300還包括缺陷分類功能和用於快速準確缺陷分析的預編程分析算法庫。這使工程師能夠快速分析大量數據並發現潛在問題或過程控制問題。Archer 300還支持自動查看工具突出顯示的缺陷,並使用高級圖像分析技術進行詳細分析。除了缺陷識別外,KLA/TENCOR Archer 300還提供高級掩碼設計審查功能,包括基於規則的設計驗證資產和審計質量保證平臺。KLA Archer 300的軟件還促進了探測器和標線的自動對齊,並促進了SEM與其數據庫之間的通信。總體而言,TENCOR Archer 300是一種可靠可靠的掩模和晶圓檢測模型,旨在為先進半導體制造過程中的關鍵控制點提供自動化、高通量、精確的光學檢測。它結合了先進的光學和成像系統以及復雜的軟件算法和自動審查功能,為缺陷檢測和分析提供了全面的解決方案。