二手 KLA / TENCOR Archer 300 #9258489 待售

KLA/TENCOR Archer 300是一種全自動的掩模和晶圓檢測設備。它旨在以極高的精度檢測蒙版和晶片印刷和蝕刻表面的缺陷。它具有先進的缺陷檢測算法和高分辨率成像系統，能夠充分利用設備在納米範圍內的靈敏度。KLA Archer 300包括光學檢測站、晶圓檢測站和掃描站。光學檢測站由高分辨率的DUV顯微鏡和照相機組成。該機采用多種照明角度和一套先進算法檢測分析缺陷。對於晶圓檢測，該工具配備了高速、高靈敏度、高分辨率的晶圓成像資產。掃描站用於快速掃描多個掩碼或晶片並快速檢測缺陷。TENCOR Archer 300支持多種面罩和晶片類型以及包括EUV、E-beam、248nm DUV、193nm DUV和157nm DUV在內的先進缺陷標準。該模型能夠同時檢查掩模和晶片，還可以生成快速的周期中期缺陷分析報告。為了獲得最高精度,Archer 300采用了先進的容錯成像技術。它還支持多種類型的缺陷算法，以滿足不同客戶的需求。該設備與任何類型的計量系統配合使用，也可適應其他類型的檢驗系統。最後，KLA/TENCOR Archer 300由於擁有成本低而極具經濟性。它具有可持續長達5年的持久LED光源,低功耗確保可輕松復制節能。此外,該設備只需要最低限度的維護,這意味著它是為經受時間考驗而構建的。