二手 KLA / TENCOR Archer 300 #9301024 待售
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ID: 9301024
Overlay measurement system, 12"
With triple FOUP
(3) Load ports frontend
GEM / SECS and HSMS
E84 Enabled for OHT and AGV / RGV
(3) PIO Devices for OHT
E87 (Based on E39)
E40 / E94 / E90
CMP Measurement option
(3) Advantag Radio Frequency (RF) Carrier ID readers
Signal tower (57mm):
Red
Yellow
Green
Blue
Operation manual on CD
S2 and CE Marked
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
2010 vintage.
KLA/TENCOR Archer 300是一種掩模和晶圓檢測設備,設計用於在半導體器件上提供高精度的監控和缺陷檢測。它為生產線的最佳性能量身定制,為批量生產提供高吞吐量和可靠的可靠性。KLA Archer 300的核心是其強大的成像技術。該系統采用了先進的基於脈沖訓練的光學技術,提供了17 µm像素的成就,使得亞15 µm缺陷檢測成為可能,使其適合最苛刻的應用。與競爭對手的系統相比,3600映像體系結構的分辨率提高了4倍。TENCOR Archer 300具有多角度雙鏡面光頭,比單陣列系統提供更高的分辨率和更好的表面覆蓋。該單元還具有獨特的多焦距特性,可通過自動聚焦最近的特性來優化檢測可靠性。Archer 300還具有高清可視化功能。這包括一個可視化子系統,確保高對比度缺陷的準確解釋和註釋。該計算機支持高性能便攜式顯示器和專用的遠程交互式可視化工作站。此外,KLA/TENCOR Archer 300支持使用KLA最新算法的標準和自動晶圓映射。這樣可以確保快速高效的過程控制,並能夠快速調整配方設置。該工具還支持脫機過程監視,從而能夠在不交付產品的情況下進行連續過程監視。KLA Archer 300是一款堅固可靠的生產解決方案,可持久使用。該資產通過雙電極和雙級標線模型提供冗余,從而實現快速故障恢復並提高設備可用性和性能。該系統還提供主動監控和維護,最大限度地提高設備正常運行時間和效率。最後,TENCOR Archer 300掩模和晶圓檢測機提供了卓越的圖像質量、高分辨率成像和精確的缺陷檢測。該工具還支持自動晶圓映射、脫機過程監控和可靠冗余。是半導體器件高精度監測和缺陷檢測的理想解決方案。
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