二手 KLA / TENCOR Archer 500 AIM #9353831 待售

KLA/TENCOR Archer 500 AIM是一款功能強大但成本效益高的掩模和晶圓檢測設備,專為高靈敏度缺陷檢測和準確缺陷特性鑒定而設計。該系統配備了先進的光學、紫外線和電子束成像技術，為掩模和晶片提供了詳細的數據和全面的分析，以全面了解任何可能的缺陷。該設備有兩種硬件配置-Archer 500和Archer 500G。Archer 500支持單晶片檢查,而Archer 500G支持單晶片檢查和直徑不超過12英寸的基板,以進行最完整的分析。這樣就可以以最高的精度對各種基板進行檢查。Archer 500和500G均具有強大的4倍光學和5倍紫外線成像功能。強大的4倍光學放大率使機器能夠檢測到尺寸降低到0.25 µm或更大的缺陷。此外,高清成像還可確保對每個缺陷的確切位置和特征進行徹底分析。5倍紫外線成像能夠進行更精細的檢查,缺陷尺寸可精確清晰地檢測到0.2µm。為了進行更高級的分析和缺陷表征，Archer 500和500G還具有先進的電子束成像功能。這樣可以進行光束電路檢查和柵極區域分析，以確保對任何潛在缺陷進行最全面的檢查。此外，該工具還配備了高分辨率的能量色散光譜資產，可以對任何發現的缺陷進行精確的元素分析。最後,Archer 500和500G受益於KLA專有的AccuSc裝備和分析軟件,它提供了與模型的無縫集成,以及一整套用於數據分析、可管理性和報告的功能。這樣可以確保設備能夠準確、全面地了解存在的任何缺陷或汙染。總體而言,Archer 500和500G提供了一個先進但經濟高效的掩模和晶圓檢查系統,它結合了強大的光學、紫外線和電子束成像,並具有全面的分析功能和AccuSc軟件裝備。因此,該設備能夠以最高的精度和精度提供完整的缺陷檢測和特性鑒定。