二手 KLA / TENCOR Archer 500 AIM #9354401 待售

KLA Archer 500 Automated Inspection Module（AIM）是一種高速、掩模和晶圓檢測設備，旨在提高半導體制造工藝的產量。它是TENCOR工藝控制解決方案的核心要素，提供模具級和缺陷檢測，使制造商能夠滿足嚴格的質量要求。KLA/TENCOR Archer 500 AIM擁有一個獲得專利的雙光子吸收器（DPA）探測器系統，該系統結合了寬帶、倍頻二極管激光器和紫外線傳感器。這種組合對尺寸小至幾納米的模具級缺陷提供了一流的靈敏度。KLA Archer 500 AIM還配備了高分辨率「綠色」激光，用於測量特征和檢查打印中的周期性圖案變化。該設備針對自動化制造使用進行了優化,通過快速處理高達每小時360個晶圓,為大批量生產提供支持。大的18英寸晶片支持允許標準晶片和超細晶片的最佳吞吐量。TENCOR Archer 500 AIM憑借其高度可靠的光學平臺,在低停機時間下提供卓越的檢查性能。其基於圖像的高精度聚焦技術為隊列中多達150個晶圓保持恒定的激光聚焦。為了確保掩模和晶片的完全覆蓋，機器的啟發式和單元格算法計算出檢查區域的最佳方法。Archer 500 AIM還提供高級數據分析和報告功能,允許用戶生成報告,深入了解晶圓和模具級缺陷。它具有Mapping and Defect Analysis軟件,用於顯示缺陷的確切位置、大小、類型和陣列頻率。這些信息對於幫助制造商識別和解決制造過程中的故障至關重要。KLA/TENCOR Archer 500 AIM獨特的特性組合和快速的加工時間，使其成為尋求最大產量並確保最高質量標準的半導體制造企業的理想解決方案。