二手 KLA / TENCOR Archer 500 LCMu #293668510 待售

KLA/TENCOR Archer 500 LCM是口罩和晶圓檢驗行業的領先廠商。它是一個專門設計用於檢測生產過程關鍵階段的屈服沖擊缺陷的光刻模塊。該設備旨在提供綜合檢查解決方案,將最高級別的可靠性、準確性和效率相結合,以滿足最苛刻的應用。該系統的核心是專利電弧檢測技術，它能夠檢測分辨率小於0.4 μ m的缺陷。Archer 500的高級光學單元允許機器同時檢查面罩和晶片上的表面缺陷、顆粒、局部汙漬和其他特征。此外,該工具具有卓越的排便和耐受性指數（DTI）能力,可讓客戶在處理過程的早期準確地對影響產量的缺陷進行分類和檢測。Archer 500由光學柱模塊（OCM）和圖像分析模塊（IAM）兩個模塊支持。OCM負責捕獲樣本的圖像,而IAM用於處理圖像並提供詳細的分析結果。通過組合這些模塊，Archer 500可以用於涵蓋廣泛的檢查場景。資產的先進技術使其能夠處理掩模和晶圓檢測要求苛刻的高速、高分辨率、高通量要求。該型號還設計方便地集成到現有的生產設備中。它具有廣泛的用戶友好功能,包括遠程可控性、數據交換功能和高級診斷工具。除了物理檢查外,Archer 500還提供多種診斷功能,用於分析工藝配方的性能。它可以通過將檢驗結果與工藝數據相結合來提供對結果的詳細分析，允許用戶快速識別和消除潛在缺陷，以最大限度地提高效率和產量。總體而言，KLA Archer 500 LCM是一種用於掩模和晶圓檢查的強大工具。它提供了一個高級功能集,可提供高速、高精度的缺陷檢測功能,允許用戶優化產量、防止成本高昂的報廢,並顯著降低與手動檢查相關的人工成本。