二手 KLA / TENCOR Archer 500 #293610056 待售

KLA/TENCOR Archer 500 Mask&Wafer Inspection設備為操作員在半導體應用中的檢測需求提供高性能解決方案。KLA Archer 500是一種高通量、高橫向分辨率的系統，旨在滿足半導體行業的嚴格標準。該裝置能夠在分辨率高達5.5微米的情況下檢查蝕刻後、單裝置口罩，以及在1.75微米的情況下檢查雙裝置口罩和不透明口罩。它具有卓越的機器吞吐量，提供集成的圖像采集和分析時間，每個模具只有10秒。這是通過強大的多核體系結構、自動掃描模式和高級光學工具的組合實現的。在資產的核心位置,專有的opto-mechanical設計以0.4微米的分辨率在高達1,400 fps的全視野中推動模型。采用精密的0.4微米步進電機實現4象限標線對準。該設備采用了具有高精度Z軸機構的X-Y平移平臺和先進的數字x-y-z坐標掃描系統。該單元配備了高速檢流計為基礎的激光束和激光探測光學器件，使其能夠分析比較一個給定裝置的多達109張圖表的特性，即使在最復雜的結構中也能繪制出缺陷。該機集成了創新的自動對焦助手,可提供快速自動對焦和收斂光束輪廓。Auto-Focus Assistant捕獲整個設備字段中的數據點,使操作員能夠動態調整焦點配置文件,以確保即使是最小的曲面步驟也能準確檢測到。此外,集成的軟件套件還提供了增強的用戶體驗。該套件包括直觀、易於導航的圖形用戶界面、靈活的掩碼對齊和分段算法以及復雜的錯誤處理,旨在優化工具性能。TENCOR Archer 500 Mask&Wafer Inspection Asset是一種功能強大且可靠的半導體制造商和研究實驗室工具。它結合了高性能、易於使用的軟件和堅固的光學設計,使其成為任何半導體檢測應用的寶貴且通用的資產。