二手 KLA / TENCOR Archer 5300 #9294782 待售

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ID: 9294782
Overlay measurement system.
KLA/TENCOR Archer 5300是一款高性能的掩模和晶圓檢測設備。其設計用於檢測半導體晶片的關鍵特性以進行工藝控制。該系統由先進的成像光學、高分辨率數碼相機和先進的圖像處理算法組成。KLA Archer 5300具有明場、暗場、頻閃和多層明場(MLB)成像系統。光場成像單元能夠提供最高分辨率來檢測非常小的缺陷。其他成像系統可用於檢測不同類型的缺陷,如表面缺陷、大空隙、邊緣清晰度差、暗粒等。它還具有高分辨率CCD攝像頭,使其能夠以最小的噪音捕獲高細節的圖像。該機配備了先進的圖像處理算法,能夠檢測和分析來自輸入圖像的缺陷。算法可以被編程來識別不同類型的缺陷,用戶可以調整機器的靈敏度和準確性。該工具具有模塊化設計,這意味著它很容易用新模塊升級,例如光學元件和處理算法。這將使用戶控制確保資產與最新技術保持同步。TENCOR Archer 5300還配備了晶圓標記功能,可用於跟蹤和識別缺陷。一種模型內部驗證工具可以驗證和測試各種設備參數,以確保結果的準確性和可重復性。最後,系統提供用戶友好的GUI、培訓材料和技術支持。這可以讓用戶快速了解單元的不同特性和功能。總體而言,Archer 5300是一款出色的面罩和晶圓檢測機。其先進的成像光學和圖像處理算法結合了用戶友好的GUI,使其成為過程控制的理想選擇。此外,它的模塊化設計允許用戶通過最新的改進輕松升級工具。
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