二手 KLA / TENCOR Archer 5300 #9295113 待售

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ID: 9295113
Overlay measurement system.
KLA/TENCOR Archer 5300是半導體工業中使用的最先進的掩模和晶圓檢測設備。該系統利用先進的數字成像技術,將蒙版和晶片的圖像從工藝室快速變形為數字形式。這使設備能夠準確搜索可能導致劣質產品的缺陷或不規則性。KLA Archer 5300有一系列用於晶圓缺陷檢測的工具,從模模像素映射到局部缺陷隔離。對於掩模檢查,機器提供三維成像能力,用於徹底的缺陷檢測。該工具具有增強的掃描聲學顯微鏡(SAM)模塊,旨在檢測小的不可見凹坑、劃痕或其他表面缺陷。高級汙染檢測(ACD)模塊檢測晶片正面和背面是否存在顆粒。資產還包括用於全自動糾錯和晶圓級缺陷計數的先進Auto Sense技術。它還有一個功能強大的基於軟件的顯微鏡界面,能夠處理宏和微攝影圖像。TENCOR Archer 5300提供了易於使用的圖形用戶界面,允許操作員訪問模型的所有功能和設置。設備的每個組成部分都可通過集成的遠程成像系統輕松觀察。該設備高度可配置,允許專業定制機器的所有功能,包括速度、靈敏度、缺陷類型、水平和垂直視場以及各種其他參數。Archer 5300配備了模塊化晶片級,便於樣品裝卸以及自動取樣對準。除了晶片級之外,該工具還包括一個容納各種尺寸晶片盒的盒式適配器和一個前端機器人,非常適合在線或離線檢查。總之,KLA/TENCOR Archer 5300是一種高度先進的掩模和晶圓檢驗資產。利用其用於晶片缺陷檢測、先進的自動感應和模塊化晶片級的一系列工具,它能夠快速、準確地檢測任何可能導致劣質產品的不規則性。
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