二手 KLA / TENCOR Archer A500 AIM #293592354 待售

KLA/TENCOR Archer A500 AIM是一種多光譜成像設備，設計用於自動檢查先進的集成電路晶片和掩模。這種自動檢查系統利用三色多頻CCD攝像機來捕捉掩模或晶片正面和背面的高分辨率圖像。它將先進的圖像處理算法與全劑量X射線檢查相結合，識別出汙染、顆粒缺陷、缺失缺陷等各種缺陷。Archer A500配備了一個獨立的自動缺陷審查單元,配有19英寸觸摸屏界面。它具有900 x 900像素的圖像捕獲能力，在檢測粒子、高密度區域的粒子和圖樣缺陷時優化了機器的性能。高速運動平臺允許在短短幾分鐘內完成晶圓或掩模覆蓋。Archer A500配備了先進的多時態模式識別模塊,使其能夠準確區分粒子、觸點、線條和其他特征等特征,而不是它們各自的形狀和大小。該模塊具有優異的10納米圖像分辨率能力，提高了缺陷檢測性能。該工具還包括一個自動缺陷分類資產，利用累積缺陷度量準確識別數據驅動的分類缺陷。該模型可以檢測極性標記缺失和開放/短路由接觸等缺陷。Archer A500的自動缺陷審查和測試設備提供了靈活性、易於設置和快速的周期時間。專利圖像處理算法捕獲缺陷的完整預覽,具有最大吞吐量和低拒絕率。與傳統的手動檢查系統相比,Archer A500有幾個獨特的優點。它提供了改進的過程控制、改進的周期時間和改進的缺陷控制。此外,它還改進了對缺陷類型和屈服控制的了解,使其成為先進的IC晶片和掩模檢測的理想解決方案。