二手 KLA / TENCOR Archer AIM MPX #9016583 待售
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已售出
ID: 9016583
晶圓大小: 12"
Advanced optical overlay metrology system, 12"
Install Type: Stand-Alone
Brooks Pre-Aligner
Mini-Environment w/HEPA Filter
MPX Focus/Exposure Option (PN: 0047028-000)
300mm Reflective Host Chuck (PN: 0022143-002)
Coherence Probe Interface Microscope
Measures BIB & AIM Grating Targets
Y2K Ready
Automatic Arrayed Target Measurement SW
Cassette Interface:
(2) Asyst IsoPort 300mm Load-ports
PN: 9700-9129-01 rev J
Robot Handler: Brooks
3-Axis, Single Arm, Single Blade
Software:
Win NT OS
Archer AIM Starter Kit w/ RDM Server Upgrade
User Interface:
Monitor: Viewsonic VG181 LCD 19”
3.5” (1.44MB) Floppy Drive
Mitsubishi P91D Thermal Printer
Yamaha CD-R/W Drive
SSD Back-up Drive (DAT)
Keyboard/Mouse/Trackball
Currently crated and stored in a warehouse.
KLA/TENCOR Archer AIM MPX是一款最先進的面膜晶圓檢測設備,旨在滿足微電子制造商的需求。該系統能夠提供高分辨率成像,用於檢測和分析掩模和晶片上的各種缺陷。KLA Archer AIM MPX旨在確保高產量優化和提供準確的缺陷圖像。它將緊湊的設計與先進的高速成像體系結構相結合,從而提高了檢測吞吐量。設備的核心是全彩、高分辨率成像儀(HRI)和高級光學器件,可實現更高分辨率的圖像和更快的分析。TENCOR ARCHER AIM MPX能夠檢測和分析粒子缺陷,以及制造局部電壓變化、橋接液滴和不支持特征等缺陷。它還能夠放大掩模或晶片的高壓區域,從而能夠檢測潛在的災難性缺陷。該機具有較高的對比度靈敏度,可用於增強缺陷檢測和分析.Archer AIM MPX還包括一個熱控制和穩定工具(T-C&S),在晶圓檢查期間保持精確、可重復的溫度,以增強缺陷檢測性能。此資產允許從批量到批量的產品變化最小,並為低對比度和高靈敏度缺陷類型提供了更好的檢測精度。KLA/TENCOR Archer AIM MPX提供了一系列可供用戶選擇的成像模式,使其具有高度的通用性,並使用戶能夠根據自己的特定需求定制模型。成像模式包括低輪廓掃描、低對比度SLF、高分辨率SLF和低對比度邊緣增強。KLA Archer AIM MPX還包括基於軟件的AutoSensitization,用於自動亮度和對比度選擇,簡化了用戶的設置過程,減少了用戶必須與設備交互的次數。此外,該系統能夠生成數據導出格式,如ASCII、BMP、TIFF、PDF和JPEG,以便快速、方便地報告。作為高端系統,TENCOR Archer AIM MPX能夠快速準確地生成缺陷圖像,使制造商能夠優化產量、降低成本和提高產品質量。該設備非常適合各種生產環境,能夠進行高速成像和可靠的缺陷檢測。
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