二手 KLA / TENCOR Archer AIM MPX #9239066 待售

KLA/TENCOR Archer AIM MPX是一種用於半導體制造過程中高級計量和產量管理的掩模和晶圓檢測系統。它利用基於圖像的技術來確定晶圓表面關鍵特征測量的質量,使制造商能夠更快、更準確地創建更高的性能、更可靠的晶圓設備。KLA Archer AIM MPX的核心是其專有的多維可視化技術（MDVT）,它使系統能夠檢測和識別在傳統成像系統中可能看不到的最小缺陷。TENCOR Archer AIM MPX結合了高端圖像矢量處理器、先進的照明系統和獲得專利的光學元件,能夠以高分辨率每秒捕獲多達46張圖像。它利用多個獨立的成像通道，使其能夠在單個晶片或多個晶片上同時進行快速檢查和掃描。這種平行性使Archer AIM MPX能夠在幾秒鐘內測量和檢查整個晶圓曲面上的特征,而無需在圖像中引入任何偽影。此外，它的自對接設計可以讓晶片容易快速的裝卸，讓廠商快速優化檢驗過程。KLA/TENCOR Archer AIM MPX的設計能夠滿足最高的精度和準確度,能夠分析50 nm以下的特征,並以1mil的位置準確度檢測缺陷。此外,它還提供了自動缺陷分類和復雜的誤報檢測功能,使其能夠識別真實缺陷,但減少誤報。此外,KLA Archer AIM MPX隨附的KLA軟件套件還提供了功能強大的分析和數據可視化工具,從而為流程優化和產量分析自動化提供了增強的數據分析。因此,TENCOR Archer AIM MPX允許快速的標線和光掩模檢查以及晶圓級計量,從而提供了前所未有的生產產量和制造成本節約的洞察力。