二手 KLA / TENCOR Archer AIM MPX #9383055 待售

KLA/TENCOR Archer AIM MPX是一種掩模和晶片檢查設備,能夠對光掩模和晶片的關鍵特征和非關鍵特征進行自動化的生產就緒檢查。該系統采用了諸如Optimode功能、獲得專利的4-Dimensional （4D）激光散射測量工作流以及多種模式識別技術等先進技術，以確保所有缺陷都得到可靠識別和可靠測量。Optimode功能可確保精確識別和測量所檢查的掩模或晶片上的所有特征。它通過控制激光光斑大小和所要求的掃描次數來工作。激光散射測量模具形狀和3D特征的復雜性,從而可以測量平面和復雜表面上的高對比度特征,而無需人工交互。除了Optimode技術外，KLA Archer AIM MPX還配備了多種模式識別技術，以確保準確的檢測結果。這包括動態缺陷檢測、自動閾值選擇和可自動配置的特征模板庫。此外,此單元以各種格式（如JPEG、TIFF和PDF）提供檢查報告,放大倍數可達500倍。TENCOR ARCHER AIM MPX機器支持多種增長和叠加過程，如High Volume Manufacturing （HVM），使刀具能夠精確測量特征到0.1微米的分辨率。此外,該資產在完全黑暗的環境中運行,並保持一致的熱特性,從而實現超高精度測量。此外，Archer AIM MPX還提供了廣泛的檢查模式，包括審查、現場、比較、叠加和低k。審閱模式提供了掩碼或晶片的可視表示,而比較模式則將掩碼並排比較以計算不符合性。叠加模式對齊多個掩模以進行快速檢查，而低k模式則能夠測量特征的高度和細線。總體而言,KLA/TENCOR Archer AIM MPX是一種可靠的掩模和晶圓檢測模型,它提供了最佳的特征組合,能夠快速準確地檢測缺陷,識別潛在的產量損失,並提高制造精度。利用其強大的功能,縮短了檢查時間,提高了生產效率。