二手 KLA / TENCOR Archer AIM+ #78215 待售
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已售出
ID: 78215
Overlay inspection system, 8"
Install type: Stand-Alone
System Software Version: 3.10.06sp7
Run daily pm test: PZT P high voltage, PZT Z gain, PZT feedback
Halogen light source
Replace halogen lamp
PDA gain X, Y axis
Wafer surface focus and analysis patened
LINNIk camera uniformity, AMS camera uniformity
MPX monitoring photo excursions
CMP coherence option
Check shutter response time
GEM / SECS
Line conditioner, 60Hz
Power requirements: 208 / 230V, 3 phase / 1 phase, 50 / 60Hz
RDM recipe database manager software of measurement recipes
Archer computer CD drive, Klass computer C drive
2004 vintage.
KLA/TENCOR Archer AIM+是專門為先進的半導體生產環境而設計的掩模和晶圓檢測設備。它結合了多種檢查方法，如表面和橫截面成像、焦點變化顯微鏡、圖案化晶圓成像，以確保快速準確的缺陷檢測。該檢測系統提供了對掩模缺陷和設計完整性的實時、坦誠的反饋，改進了工藝決策，減少了產量損失。其先進的光學特性具有很大的景深和完整的視野，有助於識別甚至最微妙的缺陷。該單元還具有高級分辨率功能,包括Airy相位對比度和近場成像。KLA Archer AIM+使用專有軟件提供了一系列自動掩碼缺陷檢測功能，包括缺陷類型的自動分類、缺陷列表的自動分類、缺陷圖像的自動聚焦、缺陷圖像的自動存檔、圖像的自動審閱以及自定義掩碼流的規則編輯器。它可以指定實驗室級光學器件和有缺陷區域的可配置照明以進行準確分析。該機還提供了一套用戶友好的檢測工具，包括用於從多個方向查看晶片的多站點檢測模式、交替頻率掃描模式、先進的叠加精度和回歸工具，以及用於精確缺陷分析的可調邊緣偏移拉普因子。TENCOR Archer AIM+是先進半導體生產的強大工具，允許在幾分鐘內進行高精度的掩模和晶圓檢測。其精確、高度智能的檢測能力使其成為任何半導體制造業務的寶貴補充。
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