二手 KLA / TENCOR Archer AIM #9038074 待售
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已售出
ID: 9038074
Overlay inspection system, 12"
Upgraded from a KLA Archer 10-02 Overlay system in Q3 2003:
a. Archer 10 upgrade to Archer AIM: Hardware upgrade to Archer 10XT and software upgrade to Archer AIM.
b. Archer Analyzer v 1.0 client (includes software disk and documentation).
c. Remote Archer Analyzer v 1.0 network client (includes software disk and documentation)
RFID reader and software upgrade in Q4 2005:
a. 0047590-000 E87 CARRIER MANAGEMENT SERVICE
b. 0047593-000 E40/E94 PROCESS JOB MANAGEMENT
c. 0043182-000 KIT,TDK CID,HERMOS ASCII RS232
300MM FOUP upgrade in Q4 2005:
a. (1) 0103388-000 Phoenix 300MM Dual FOUP
b. Preshipment Items:
i. (1) 0070136-000 Chuck assy
ii. (1) 0053800-002 3rcher Wait Station
iii. (1) 750-482031000 FFU High Top Sys.
iv. (1) 0031072-000 FFU Roof Wall Assy
Missing stage and isolation controller
2003 vintage.
KLA/TENCOR Archer AIM是一種掩模和晶圓檢測設備，能夠實現高精度的自動缺陷檢測和表征。它提供卓越的圖像采集、非常快的吞吐量以及強大的成像和分析工具。KLA Archer AIM系統旨在解決傳統的照片面罩檢查以及客戶特定的應用,如模模缺陷檢查和3D缺陷識別。該單元利用高速線掃描成像架構獲取高分辨率圖像，用於缺陷檢測和缺陷表征。成像引擎擁有22nm的像素大小,提供真正的450mm晶圓覆蓋。這種即使是最大的晶片也能精確處理的能力使得TENCOR Archer AIM能夠以令人難以置信的高精度識別缺陷。該機配備了功能強大的先進圖像識別軟件，用於準確、可靠的自動缺陷檢測和分類。該軟件提供了優越的單沖程邊緣檢測、模式識別和誤判識別。該工具還包含用於高通量晶圓檢查的精密分析引擎,可以查看從設計布局到無定形模式的所有內容。Archer AIM資產提供了高級成像和自動化工具的無與倫比的組合,使其非常適合傳統的大容量掩碼檢查以及針對客戶的高級應用程序。它使用戶能夠通過對正常和異常結構的自動檢查和表征快速跟蹤流程開發。此外,KLA高級軟件工具還提供完整的掩碼檢查性能和功能,包括訪問全面的數據庫和查看模式、晶圓布局修改、自動特征和模式識別、誤報減少和批處理。該模型還提供了與高級顯微鏡工具的集成,以實現更詳細的分析功能。總體而言,KLA/TENCOR Archer AIM設備是一種功能強大且用途廣泛的掩模和晶片檢查解決方案,可為傳統的掩模檢查以及高級客戶特定應用提供可靠、準確和可靠的結果。
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