二手 KLA / TENCOR Archer AIM #9173737 待售
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已售出
ID: 9173737
Overlay inspection system
Specifications:
12" With dual FOUP for dram and NAND
Fully automated overlay measurement module: Coherence probe
Interference microscope
Automated wafer handling
Software: Windows XP based SW and User Interface
Integrated user interface
Includes: 19" LCD Screen
3.5" Floppy drive
CD ROM Drive
Tape drive back up system (DAT)
Video hard copy printer
Network: RJ45 (10 Base-T) and BNC and AUI connectors
Tool options:
Electrical wiring
EMO Shield
Archer 02S & 03 painted skins
CMP Measurement (CPM+ANRA)
Signal tower: (4) Lamps 40mm
Currently de-installed.
KLA/TENCOR Archer AIM是一種功能強大的掩模和晶圓檢驗設備,旨在幫助鑄造廠及其客戶改進制造工藝。該系統由高功率激光、先進光學器件和精密成像單元組成。這種組合使得機器能夠快速準確地檢測和識別缺陷,對於半導體掩模和晶圓檢測、LCD/CNT掩模檢測、MEMS器件檢測等多種應用都是無價的。高功率激光器是工具的第一個組件,用來產生強烈的光束。光束經過微調,使其對準晶片或蒙版時,照亮產品的不同特征。梁能夠檢測小缺陷,如缺少塗層、邊緣、表面特征等。先進的光學元件使KLA Archer AIM能夠詳細檢查不同的產品。光學器件對激光束進行精確的極化和分散,使其能夠識別薄膜和晶片上脆弱的單蝕刻結構。它還可以定位產品接縫處的註冊不當和/或粘結不良,並增強檢測功能。資產的成像模型由CCD線攝像機組成,每行掃描一次就能捕捉到產品的圖像。捕獲的圖片通過缺陷管理設備傳遞,該設備通過其高級算法識別缺陷。然後可以在產品進入生產線之前標記任何檢測到的缺陷。除了檢查能力外,TENCOR Archer AIM還為各種產品提供在線計量解決方案。這些計量測量可以在檢查過程中直接在監視器上讀取,從而實現快速、方便的質量控制。為了充分利用Archer AIM系統,用戶可以使用各種報告和工作流管理工具。這有助於確保在中央數據庫中準確跟蹤和維護結果。總之,KLA/TENCOR Archer AIM是一種堅固、可靠、精確的掩模和晶圓檢測裝置。它能夠快速、精確地檢測和識別缺陷,因此非常適合各種應用。該機器還提供在線計量解決方案和其他功能,以幫助用戶簡化生產流程。
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