二手 KLA / TENCOR Archer AIM+ #9176822 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
ID: 9176822
晶圓大小: 12"
優質的: 2011
Overlay inspection system, 12"
Dual FOUP for DRAM and NAND
Fully automated overlay measurement module:
Coherence probe interference microscope
Automated wafer handling
Software: Windows XP based SW and user Interface
Integrated user interface
LCD Screen, 19"
Floppy drive, 3.5"
CD ROM Drive
Tape drive back up system (DAT)
Video hard copy printer
Network ready:
RJ45 (IOBase-T) BNC
AUI Connector
Tool options:
Triple FOUP
Electrical wiring
Machine power cable: 15 Meters
EMO Shield
Archer 02S & 03 painted skins
Light curtain with safety skirt double FOUP
CMP Measurement (CPM+ANRA)
Signal tower: (4) Lamps 40 mm
GEM/SECS and HSMS
E84 Enabled for OHT & AGV / RGV
(2) PIO Devices for OHT: 3 PIO
E87 (Based on E39)
E40/E94/E90
(3) Thermos single wire CID, G4
RDM Machine client SW & license
AA On-tool client CD & license
Operation manual on CD
2011 vintage.
KLA/TENCOR Archer AIM+是一種面罩和晶圓檢測設備，設計用於滿足半導體行業最具挑戰性的要求。它提供了無與倫比的準確性和可重復性在檢查即使是最困難的光掩模和標線形狀的因素。憑借其最先進的技術，如計算機控制的光學、先進的模式識別算法以及完全集成的軟件平臺，可以可靠地檢測金屬和陶瓷材料的缺陷和異常。KLA Archer AIM+系統使用高級光學單元來捕獲任何掩模或晶圓的關鍵細節。其光學機器包括多種鏡片，能夠快速準確地識別基板表面存在的缺陷和異常。該工具特別能夠捕獲較小的功能,而大多數競爭系統都無法做到這一點。TENCOR Archer AIM+資產還具有自動裝卸樣品的機器人處理模型。這確保了樣品加載過程中的可重復性,並提供了增強的整體周期時間。此外，該設備還可以精確測量覆蓋位置和對齊方式，使其成為評估掩模或晶片機械完整性的理想工具。為了確保準確的檢測，Archer AIM+系統將其尖端硬件與復雜的模式識別和缺陷檢測算法相結合。該單元可以識別遮罩或晶片表面上的模式和異常,分辨率高達0.1 μ m。它可以有效地檢測任何角度或位置的顆粒、凹坑、條紋、針孔和裂紋。該機器還提供了許多改進分析能力的工具。其中包括圖像失真校正、自動缺陷分類以及靈活的基於度量的規則工具。此外,該資產還與名為Archer Insight的軟件平臺集成在一起,使用戶能夠輕松管理其檢查數據。KLA/TENCOR Archer AIM+型號是需要可靠且高度堅固的掩模和晶圓檢測的半導體制造商的理想選擇。它的先進技術和自動化處理程序確保了對產量進行精確和重復的檢查。此外,Archer Insight為用戶提供了一個直觀的平臺,用於管理、分析和報告檢查數據。
還沒有評論