二手 KLA / TENCOR Archer AIM #9180730 待售

KLA/TENCOR Archer AIM是一種「掩模和晶片檢驗」設備,用於檢測和識別半導體制造的掩模和晶片制造階段的缺陷。KLA Archer AIM系統使集成電路芯片制造商能夠比以往更快、更準確地增加缺陷檢測和識別模式缺陷。它結合了一種新的檢測技術--機器學習--來準確識別廣泛的掩模和晶圓缺陷。TENCOR Archer AIM單元使用光學、圖像捕獲和集成軟件的組合來檢測和識別晶圓和掩模圖樣上的缺陷。機器學習被納入機器，以實現更快、更準確的缺陷檢測。它利用一種稱為「廣度成像」的先進成像和數據采集技術，利用廣角透鏡和多次曝光來創建單個掩蔽或晶圓圖像。這使工具能夠將掩模或晶片陣列與其相應的視覺檢查設計進行比較,以便檢測缺陷並對其進行分類。Archer AIM還采用了多種先進的圖像處理技術來檢測和分類缺陷。該資產使用「Superpixel」技術來分離位於彼此緊鄰位置的多個缺陷。它還利用「邊緣檢測」來識別模式之間的微小差異，這可能表明由於不對齊或汙染而導致的模式有缺陷。該模型通過「靈敏度調整」功能進一步增強，它允許用戶調整設備的缺陷檢測閾值，以最大限度地提高缺陷檢測率。KLA/TENCOR Archer AIM系統的組件通過統一的單元進行集成，其中包括應用軟件、網絡存儲、數據采集/控制站以及圖像處理器控制器。圖像處理器控制器負責捕獲、分析和存儲缺陷圖像,而數據采集/控制站則用於控制機器參數,如掩碼和晶圓位置、曝光和曝光持續時間。KLA Archer AIM工具可用於多種掩模模式和晶圓類型。它具有高性能的掃描速率,能夠在短時間內常規掃描單個掩碼或晶片陣列的大面積區域。該資產還能夠每小時捕獲數千個圖像,並快速生成缺陷報告或圖像。TENCOR Archer AIM模型提供一致可靠的檢驗結果。Archer AIM具有高速和卓越的缺陷檢測功能,是制造商在降低成本的同時保證產品完整性的強大工具。