二手 KLA / TENCOR Archer AIM+ #9186704 待售

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KLA / TENCOR Archer AIM+
已售出
ID: 9186704
Overlay inspection system.
KLA/TENCOR Archer AIM+是一款下一代的掩模和晶圓檢測設備,旨在為先進的半導體技術提供高性能的計量工具。該系統支持多傳感器測量,采用先進的成像技術,對納米級範圍內的缺陷和圖樣放置精度進行經濟高效的檢測。它具有獨特的模式識別功能,可提供強大的解決方案,快速、準確地識別高長寬比特性(如門陣列)。該單元利用KLA高分辨率成像技術,確保高對比度圖像具有精確的對齊、傾斜和分辨率要求。此外,它還能夠同時檢查晶圓地形和全球計量,促進對高縱橫比特征的模式誤差的可靠檢測。該機器利用可編程邊緣檢測、子像素分割和形狀濾波算法,用於可見光和激光照明光圖像的精確識別缺陷,無論其大小,以及納米範圍內的圖樣放置精度。該工具在潔凈的房間環境中運行,提供了廣泛的環境設置,包括濕度和溫度。它的加速冷卻和加熱功能使測量能夠快速調整,以符合最新的國際標準。該資產的高吞吐量和精確度相結合,使其成為生產線的理想選擇。它具有用戶友好的GUI,可簡化操作和數據分析。由於該模型提供了一套完全匹配的校準類型,因此用戶不必在繁瑣的手動任務上浪費時間。此外,它還提供了實時分析功能,可幫助識別、分類和跟蹤所有缺陷。為了保證每次檢查的準確性和可重復性,設備采用自動聚焦算法和工具識別。該軟件包括一個復雜的功能和規則庫,可準確識別缺陷並實現快速缺陷檢測。總體而言,KLA Archer AIM+是一個先進的、高性能的掩模和晶圓檢測系統,它提供了最先進的半導體模式的詳細計量。其可靠的結果加上用戶友好的界面、快速靈活的操作,使其成為各種生產需求的理想選擇。
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