二手 KLA / TENCOR Archer AIM+ #9198841 待售

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ID: 9198841
Overlay inspection system.
KLA/TENCOR Archer AIM+是一種綜合檢測設備,設計用於高長寬比(HAR)掩模、晶片等平面物體缺陷的自動化可靠高速檢測。憑借其先進的光學檢查系統,它為客戶提供了廣泛的功能,包括檢查表面和3D缺陷,以及雙面缺陷和封裝特征檢查,從而能夠快速準確地測試HAR技術。該設備專為高通量模式而設計,能夠在相對較短的時間內掃描較大的區域。它有兩個可容納紫外線和可見光源的磁頭和兩個攝像頭,每個攝像頭都有一個滾落機和一個「暗場」測量鏡頭。該工具還包括一個高分辨率成像傳感器和最多四個可選的光學器件,以滿足特定的客戶需求。KLA Archer AIM+由內置搜索和檢測算法提供動力,可量身定制用於檢測任何類型的缺陷或封裝特征,如晶片線緣缺陷、封裝扭曲和微彎、晶片微裂紋、變色和線寬問題以及掩模級缺陷的微破碎。資產的自動化缺陷和封裝特征檢測模型可以檢測到各種曲面、形狀和大小,使其成為滿足苛刻的掩碼和晶圓檢查要求的理想解決方案。TENCOR Archer AIM+設備還配備了3 D「堆棧查看器」,使客戶能夠進一步分析和識別任何缺陷、封裝特性等等。此外,該系統還具有「占空比」功能,有助於提高吞吐量並縮短檢查周期時間。最後,該單元提供了一個先進的數據記錄和分析機器,為客戶提供詳細的缺陷和封裝功能數據。綜上所述,Archer AIM+是一種自動化可靠的高速缺陷和封裝特征檢測工具,非常適合要求苛刻的掩模和晶圓檢測要求。該資產配備了先進的光學、成像和檢測技術,以及功能強大的分析和數據記錄工具,可為客戶提供詳細的缺陷和封裝功能數據。該模型是任何高速、高通量檢測過程的寶貴資產。
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