二手 KLA / TENCOR Archer AIM+ #9213343 待售

KLA/TENCOR Archer AIM+是一種先進的檢測設備,它為掩模和晶圓制造行業提供自動光學檢測（AOI）和自動測試圖樣（ATP）。它將KLA獲得專利的基於3 D細胞的視覺智能流程與TENCOR創新機電一體化和機器視覺技術相結合,提供全面、自動化的檢查解決方案。KLA Archer AIM+系統提供詳細的3D成像,允許在2D曲面和當今先進的光掩碼技術中發現的復雜的3D元件幾何上檢測缺陷。該單元使用多種高級算法對所有類型的光掩碼圖樣和元件幾何進行檢查，如單環、雙環和傾斜環、高縱橫比和線緣粗糙度（LER）以及掩蔽區域掃描。TENCOR Archer AIM+通過使用獲得專利的三維AOI工藝和自動真正的延遲（TTD） ATP確保了可重復性,可快速提供準確的結果。自動TTD過程補償測試和測量數據之間的時間間隔，從而產生一致和準確的缺陷檢測結果。該機器采用模塊化設計，使其能夠輕松融入現有生產流程。該工具由直觀的用戶界面控制，只需單擊幾下即可完成復雜的編程。控制軟件采用圖形菜單、拖放操作和上下文相關幫助,從而實現高效操作。Archer AIM+資產還可以在單個芯片級別檢測、分析和糾正缺陷，從而實現更高水平的生產自動化並產生更高的收益率。該模型還具有用於質量監測的基本統計過程控制（SPC）以及用於提高過程能力和可重復性的高級SPC。高效的配方處理和數據管理可確保設備能夠輕松適應未來的流程要求,而無需重新設計。KLA/TENCOR Archer AIM+系統是掩模和晶圓制造的理想解決方案,在用戶友好的封裝中提供無與倫比的精度和效率。采用模塊化設計和先進算法，為掩模和晶圓質量控制及檢驗要求提供了一個全面的解決方案。