二手 KLA / TENCOR Archer AIM+ #9226067 待售
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KLA/TENCOR Archer AIM+是一種掩模和晶片檢查設備,設計用於對標線、顯示/投影掩模、光掩模和晶片進行經濟高效、準確和自動化的檢查。它提供了全面的光學檢查能力,包括對各種口罩、晶片和其他重要基材材料的在線和離線檢查。KLA Archer AIM+系統配備了專有的LED和基於CCD的數字線路掃描。使用此設計,設備能夠在離線和內聯配置中自動成像和分析。機器內置的成像和檢測算法為用戶提供了各種各樣的分析功能,包括不透明和透明的掩模缺陷檢測和分類、接觸孔的表面分析和面積檢查以及設備參數的測量和對準。該工具還允許自動測量各種標線的邊緣,包括大面積和密集的接觸孔。此功能允許快速、可靠的校準和測量過程,從而提供通常所需時間的一小部分。TENCOR Archer AIM+提供了許多缺陷分類選項,並根據用戶的個人需求和特定應用程序為用戶提供了不同的選項。這包括一種「學習」方法,它允許用戶根據高分辨率顯微鏡圖像將缺陷分類為真正的缺陷,而不是由過程引起的效果。這種方法對於結構高度復雜的高級專業光掩碼特別有用。此外,該資產能夠以高達100 nm的最高分辨率掩蔽檢查。此分辨率提供了對圖像特征和形狀特征的深入分析,從而能夠檢測到最小的缺陷。該模型還能夠創建廣泛的晶圓級比較圖,用於實時過程控制和審查。Archer AIIM+還配備了一系列附加功能,包括自動聚焦優化設置和靈活的圖像可視化功能,以便於識別缺陷。此外,用戶還可以根據當前需求和輸入設置來配置軟件設置。此外,該設備還提供多種配置,從單圖像掩碼到多站點作業和多個處理階段。Archer AIM+是一個模塊化系統,允許用戶根據自己的需求輕松向上或向下縮放設備。它還提供一系列電源選項,功率範圍從140-400瓦不等,並且與PC和Mac平臺兼容。此外,該機器還能夠支持OCR認證的網絡協議以及CAD友好型數據采集和傳輸。總體而言,KLA/TENCOR Archer AIM+工具是一種功能強大的掩碼和晶圓檢測資產,配備了一整套工具,可實現準確高效的成像和分析。它是生產和研究應用的理想選擇。
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