二手 KLA / TENCOR Archer AIM #9231862 待售
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單擊可縮放
已售出
ID: 9231862
晶圓大小: 12"
優質的: 2003
Overlay inspection system, 12"
With ASYST IsoPort 9700-9129-01 Rev K load port
Dual load ports EFEM
With ASYST IsoPort
Signal light tower
BROOKS AUTOMATİON Handler with pre-aligner and robot
Robot controller
Handler
I/O Interface board
Motion controller
Optic
Z-Stage
Pneumatic box (Air and vacuum module)
Computer
Keyboard and mouse
Operator console
Monitor
Floppy Disk Drive (FDD)
CD ROM Drive
Tape drive
Printer
EMO
Shelf
Floatation damaged
Missing parts:
SBC Controller
Floatation controller
Hard Disk Drive (HDD)
Power supply:
230 VAC, 11.3 A, 50/60 Hz, Single phase
208 VAC, 12.5 A, 50/60 Hz, 2 Phase
2003 vintage.
KLA/TENCOR Archer AIM是一種自動掩模和晶片檢查系統,它可以捕獲高分辨率圖像,分辨率高達7 μ m的基板,然後對其進行缺陷分析。它能夠對高價值晶片和掩模基板（如閃存、液晶屏和高級功能尺寸）進行快速、準確的檢查。高分辨率圖像由一套軟件模塊進行分析和評估，這些模塊比較模式以識別制造和裝配缺陷。它包括晶片排泄率分析、臨界尺寸（CD）測量和電氣測試能力等工具。它還提供無損物理缺陷分析，包括膜裂紋和熱應力分析。系統可以使用易於使用的前端軟件為用戶創建檢查作業,用於特定於應用程序的作業選擇和操作。它具有強大的自定義設計的用戶界面，用於執行掩碼和晶圓檢查作業，以實現產量優化。該系統與各種機器人連接,用於處理來自不同供應商的晶片或掩碼空白。集成缺陷查看解決方案為對檢查工具收集的圖像進行詳細分析提供了一個安全的查看環境。它具有一流的圖像保真度,能夠快速比較整個晶片或掩碼空白的缺陷與缺陷。審查工具還包括有助於查找缺陷群集的復雜模式識別工具。總體而言,KLA Archer AIM為掩模和晶圓檢查提供了可靠可靠的解決方案。其精密的軟件模塊套件結合高分辨率成像能力，使其成為高級物理缺陷分析、CD測量和電氣測試的理想選擇。其集成缺陷審查解決方案還幫助用戶快速準確地查明制造和裝配缺陷。
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