二手 KLA / TENCOR Archer AIM+ #9236390 待售

KLA/TENCOR Archer AIM+是為生產先進集成電路而設計的自動化掩模和晶圓檢測設備。該系統向工廠和計量實驗室提供過程關鍵性能反饋，用於高分辨率測量組成、模式和缺陷檢測。該單元配備2K高分辨率成像機，具備集成軟件、先進缺陷檢測算法和車載過程控制能力。高分辨率成像能夠檢測、定位和測量到亞微米級的缺陷。集成軟件套件包括對圖案特征、光學失真、薄層厚度、線條分辨率和表面反射率的精確測量。KLA Archer AIM+工具采用3D公差檢測技術構建,能夠檢測結構幾何的細微變化。該資產還提供了先進的缺陷檢測算法，能夠檢測和分類各種關鍵缺陷，如顆粒、工具標記、叠加的橋接和錯位。該模型配備了高級軟件工具,使制造團隊能夠實時分析、修改和審閱數據,還配備了串聯過程控制功能,允許實施糾正操作,從而降低缺陷率。該設備設計有一個以用戶為中心的強大平臺，允許為晶圓檢查過程定制用戶定義的首選項。這樣可以減少為每個數據收集任務設置工具所需的時間,從而確保更快速、更高效的分析。該系統完全靈活且可配置,能夠容納不同類型的結構、工藝配方和檢查環境。最後，該裝置可以很容易地升級和增強，以最大限度地提高其性能，並向更加自動化和高效的晶圓檢查過程轉變。可升級功能為生產可擴展性和改進產量監控提供了平臺。易於使用的用戶界面提供了一組全面的測量值,並使用戶能夠通過單擊按鈕快速調整公差和更改協議。