二手 KLA / TENCOR Archer AIM+ #9237846 待售
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單擊可縮放
已售出
ID: 9237846
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
Overlay inspection system, 12"
(2) ASYST IsoPort SMIF Systems
(2) Load ports
Handler system: Modular wafer handler, 12"
HLS Lamp
YASKAWA Robot
Options:
CMP Option (Low contrast target measurement)
Multi-layer XY separation
RDM V3XX Tool client license
Archer analyzer on-tool client license
Archer analyzer Pro-5 license
Tool internal camera for surveillance
Automation:
GEM/SECS and RS232
HSMS
E84 Enablement for OHT & AGV/RGV
E87 Carrier management services (Based on E39)
E40 Process job management
E94 Control job management
E90 Substrate tracking
(2) Advantage radio frequency (RF) carrier ID readers
Light tower
EMO Shield
Network interface: HSMS, GEM/SECS
SEMI Wafer standard with notched orientation
Cassette type: 25 Wafer FIMS-ENTEGRIS Spectra 26 slots
FOUP 25 Slots
Factory interface items, material interface, LP:
(2) FOUPs
Dual FIMS ENTEGRIS
Top shelter for subfab components
Side panels
Chemical filters for FFU: Air inlet of fan force
Options:
CMP Option (Low contrast target measurement)
Multi-layer XY separation
RDM V3XX Tool client license
Archer analyzer on-tool client license
Archer analyzer Pro-5 license
Tool internal camera for surveillance
UPS
Manuals included
Power supply: 230 V, 50 Hz, 15 A, Single phase
2005 vintage.
KLA/TENCOR Archer AIM+是一種掩模和晶圓檢測設備，旨在簡化半導體行業缺陷數據的識別、審查和驗證過程。該系統是利用KLA強大的軟件和硬件的綜合解決方案。它結合了檢查技術，包括高分辨率晶圓成像、自動模式識別和3D缺陷分析，以提供快速、精確和可重復的結果。該單元由主單元和顯微鏡組成。主單元內裝有激光掃描儀、晶圓處理器、光學投影儀、影像處理處理器、缺陷審查機。與主單元相連的顯微鏡是一種高分辨率數字成像工具，以各種放大倍數提供晶圓表面特征的詳細圖像。KLA Archer AIM+利用缺陷審查軟件和硬件外圍設備的組合來檢測和分析缺陷。利用高分辨率成像和尖端自動化缺陷分析技術實時獲取和處理缺陷。通過模式識別和3D分析算法的組合，資產可以準確地識別、計數和分類晶圓上的缺陷類型。該模型包括一個直觀的用戶界面,用於查看和驗證缺陷,以及自定義缺陷過濾器和設置自動缺陷查看。設備還包括一套預定義的產量、故障和可靠性分析工具,用於分析產量、缺陷級別和其他關鍵指標的結果。這些工具提供了對制造過程的寶貴見解,有助於隨著時間的推移提高產品質量和產量。TENCOR Archer AIM+系統是提高半導體行業整體產品質量的有力工具。它提供了快速、精確和可重復的結果,並提供了一套工具來促進有效的缺陷審查和產量分析。該單元是一個高度自動化和可靠的用於掩模和晶圓檢查的解決方案，可以很容易地集成到現有的SEMIConductor工藝和系統中。
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