二手 KLA / TENCOR Archer AIM #9276702 待售
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已售出
ID: 9276702
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
Overlay inspection system, 12"
SMIF: (2) Loadports (Isoport)
GEN3 Handler
2004 vintage.
KLA/TENCOR Archer AIM是一種先進的機器視覺掩模和晶圓檢測設備,旨在為半導體掩模和晶圓臨界層提供高分辨率、自動化的檢測。該系統結合了先進的光學和軟件,以實現對生產和設計半導體器件至關重要的高度精確和敏感的測量。首先,KLA Archer AIM具有高分辨率光學和成像功能,掃描速度極快。這使設備能夠快速準確地獲得掩碼和晶圓臨界層的圖像。相機和光學設備的組合能夠在可見光的波長下獲得最好的細節和細節。此外,該機器還可以檢測和測量具有超高靈敏度的掩模和晶片層的微小變化,以檢測小至0.01 µm的光刻缺陷,並檢測線緣粗糙度、線寬粗糙度、缺陷密度、劑量大小、可重復性、均勻性等規格外特征。TENCOR Archer AIM設計了多種現場驗證的圖像處理算法和先進的分析能力,以確保掩碼和晶圓檢測的準確性和一致性。這套算法和軟件能夠檢測和測量異常,如汙染、陣列變形和小線或細線。此外,該軟件還具有多維功能,因為它能夠從任何方向以及從任何角度或方向測量掩模和晶片。這樣可以對關鍵層進行更全面的檢查和分析。該軟件還具有內置缺陷審核模塊,允許用戶更徹底地審核和分析缺陷。此數據可用於生成報告、圖形和圖像,以幫助識別和分類缺陷。如有必要,可與其他人員或部門分享報告以供審查。此外,Archer AIM還配置了用戶友好的圖形用戶界面(GUI),使操作員能夠快速輕松地配置工具並查看檢查結果。靈活的硬件和軟件選項可用於滿足特定掩碼和晶圓檢查應用程序的要求。總體而言,KLA/TENCOR Archer AIM是一種功能強大、可靠的機器視覺面罩和晶圓檢測資產,旨在提供最高水平的準確性和可靠性。
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