二手 KLA / TENCOR Archer AIM #9293250 待售

KLA/TENCOR Archer AIM是一種自動化的內聯掩模和晶圓檢測設備,可提供高性能的屈服管理、缺陷處理和設備鑒定。該系統采用4kPixelDetectorArray的檢測頭,可提供檢測小缺陷的高分辨率檢測。光學單元結合了強大的圖像處理和缺陷檢測算法，提供了最高的缺陷檢測精度。機器包括一個獨特的自動優化過程，允許用戶為自己的特定應用自定義工具並提高檢測靈敏度。此外,該資產還支持自動化和手動缺陷審查,從而提供了全面的解決方案。該模型還配備了缺陷審查站，讓用戶能夠快速、輕松地識別和分類缺陷。免費的高級軟件包提供虛擬審閱，允許用戶將原始設備數據與檢查過程的結果進行比較。軟件還提供缺陷分類庫，使用戶能夠開發和存儲適合其特定過程的自定義缺陷列表。該設備通過綜合各種先進的檢測和故障發現技術，確保了快速準確的缺陷識別。該系統使用具有先進自動化測量能力的掃描電子顯微鏡（SEM）單元，允許快速準確的缺陷大小和缺陷位置識別。它還包括一個CD-SEM機，它依賴於電荷耦合器件（CCD）技術來實現更高分辨率的圖像。CD-SEM工具與3D高分辨率立體顯微鏡集成，用於缺陷分類應用。此外，該資產可以與各種先進的計量系統進行缺陷分類。該模型包括一個全設備安全網絡，由安全參數、認證機制和全面的系統日誌組成，以確保最大限度地保護質量要求。該單元還使用戶能夠遠程訪問審閱和分析工具,從而使用戶能夠快速討論和審閱問題。最後,該機的設計旨在提高工藝效率,提高吞吐量,減少錯誤的拒絕.該工具為用戶提供了高度敏感和準確的檢查結果以及縮短的檢測時間。資產還直接向流程工程師和操作員生成詳細的缺陷報告摘要,從而簡化了審核過程。所有這些特點和優點使KLA Archer AIM成為理想的掩模和晶圓檢測模型。