二手 KLA / TENCOR Archer XT+ #293604014 待售
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KLA/TENCOR Archer XT+是一種具有自動吞吐量優化功能的大面積缺陷檢測掩碼和晶圓檢測設備。它旨在進行產品上和蝕刻後靈敏度測試,以提高生產產量並進行生產線末生產測試。檢測系統由專門的光學/半導體缺陷檢測單元組成。它具有5軸多維掃描頭,能夠以高速幀速率實現高分辨率成像。該機器還包括MultiSense2均衡技術，幫助減少整個視野的不均勻性。該工具配備了先進的光學子系統。它能夠以令人印象深刻的0.040微米分辨率檢測微小的缺陷，如顆粒和劃痕，這有助於準確識別顆粒缺陷。該資產為早期準確識別真實缺陷提供了先進的噪聲免疫力。此外,該模型還通過其先進的MultiSense2均衡技術提供了先進的錯誤缺陷預防功能。KLA Archer XT+通過其專有的Equalization Technology輔助其多維掃描頭，設計為即使是最復雜的掩模和晶圓結構也能快速處理。它能夠快速準確地檢查大面積區域，即使是在具有挑戰性的基板上，如間距緊密的圖樣。通過設備的高速、高分辨率和自動吞吐量優化,TENCOR Archer XT+提供了極致的產品上和蝕刻後缺陷檢測功能。該系統與廣泛的計量和缺陷表征工具兼容，支持自動吞吐量跟蹤和優化。此外,KLA還提供了一套集成軟件包,以提高效率。這包括先進的過程控制和模式匹配算法，為檢測單元提供了完整的控制和優化。總之,Archer XT+是一種功能強大、用途廣泛的面膜和晶圓檢測機.它提供了先進的光學子系統功能以及MultiSense2均衡技術,以提供缺陷檢測的極致靈敏度和準確性。該工具還支持高級軟件控制和自動化功能,以確保最大吞吐量。
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