二手 KLA / TENCOR Archer XT #9034312 待售

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ID: 9034312
Overlay inspection system.
KLA/TENCOR Archer XT是一種先進的掩模和晶圓檢測設備,設計用於各種半導體制造應用。該系統具有高速、高精度、3D的口罩和晶片檢測功能;並提供針對最關鍵的掩模和晶圓缺陷檢測要求而設計的深入分析和表征工具。KLA Archer XT基於KLA先進的光學、軟件和成像技術,並提供了廣泛的自動化功能,如缺陷檢測、缺陷分類和圖像分析。為了更快地檢測和識別缺陷,設備可以加快檢測、定位晶片和掩碼上的缺陷並對其進行表征的過程,而不會犧牲準確性。TENCOR Archer XT提供四種成像系統-明場、低角度明場、暗場和熒光-有助於支持各種缺陷類型。它還提供高級算法和後處理功能,像基於模式的分組、缺陷分類和高級分析,進一步幫助缺陷分類。Archer XT機器是高度可定制的,可以配置為滿足特定需求。為了進一步支持其先進的缺陷檢測功能,該工具使用多配置晶片支架,提供一流的缺陷檢測功能。它還采用模塊化設計,可擴展,易於維護和升級。該資產具有小視野(SFOV)功能,能夠查看和檢查小於100 nm的設計規則。SFOV技術創造了一個提高篩選準確性和清晰度的環境,允許更大的缺陷檢測能力。KLA/TENCOR Archer XT專為易於使用而設計,為產量管理和過程控制的開發、分析和評估提供了全面的工具。該模型可與TENCOR檢查和產量管理系統集成,從而實現額外的自動化和數據集成能力。憑借先進的檢測能力和易於使用的接口,KLA Archer XT設備提供了完整的掩碼和晶圓檢測解決方案。該系統提供對掩模和晶片的三維檢查、缺陷的深入分析和表征、SFOV功能以及自動數據收集和分析。支持最嚴格的半導體制造要求,TENCOR Archer XT是任何希望最大限度地提高其掩模和晶圓產量的組織的理想選擇。
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