二手 KLA / TENCOR Archer XT+ #9221909 待售

KLA/TENCOR Archer XT+是一種用於先進工藝節點技術的完全集成的掩模和晶圓檢測設備。KLA Archer XT+將先進的掃描電子顯微鏡（SEM）技術和高靈敏度接觸成像技術集成到一個集成的封裝中。它可實現10倍或更高分辨率的高分辨率、3D多層陣列可視化和測量。TENCOR Archer XT+系統具有高性能、基於光學顯微鏡的對準單元，實現了納米級的制圖精度。對準機的設計是為了減少檢查時間，提高數據準確性，提高復雜工藝如EUV、雙模或三模、銅沈積的產量。該工具還具有多層成像資產,可實現高分辨率3D陣列可視化。多層成像模型使用SEM和元素分析的組合，生成圖案化層的高分辨率3D圖像。Archer XT+設備還集成了用於缺陷檢測和模式識別的高靈敏度接觸成像技術。這項技術提供了高度敏感的缺陷檢測和表征，即使在非常小的密集結構中也是如此。它還支持特征級缺陷分析和全面缺陷分類。此外，KLA/TENCOR Archer XT+系統提供了先進的缺陷分類和數據分析工具。這些工具使用戶能夠快速分析缺陷數據、對缺陷進行分類並確定根本原因。該單元還集成了多個第三方自動化芯片，以提高吞吐量。KLA Archer XT+為掩碼和晶圓檢測提供了全面的解決方案。其先進的掃描電子顯微鏡、高分辨率成像、缺陷檢測和數據分析工具為高級工藝節點提供了功能強大的高性能解決方案。它非常適合尋求提高產量和降低成本的鑄造廠和無晶圓廠客戶。