二手 KLA / TENCOR Archer XT+ #9227344 待售

KLA/TENCOR Archer XT+是一種用於先進半導體光刻和模具制造工藝的掩模和晶圓檢測設備。它提供電子顯微鏡（SEM）、電子束光刻（EBL）、掃描電子顯微鏡（SEM）和電子束直接寫入（EDW）數據的原始圖像自動分析。該系統能夠對晶圓、掩模和電子束中的顆粒殘留物進行高速、高分辨率的檢測，並能夠檢測到納米以下的單個缺陷。KLA Archer XT+采用專有算法快速分析數百萬像素以進行精確掩碼和晶圓缺陷檢測及分類分析。該單元能夠檢測到各種各樣的缺陷，包括Opens、Shorts、重復缺陷等嚴重缺陷；邊緣或圖案放置精度（歐拉）缺陷；層對層錯誤；晶粒取向檢測；抵制覆蓋；谷物結構；和表面粗糙度。它還包含嚴格的測量機制和報告精度,範圍從<1 µm到1nm不等,具體取決於缺陷類型。TENCOR Archer XT+采用全自動檢查和計量套件構建。這包括一個高效的成像、過濾和分割工具集,與巧妙的分析集成在一起以檢測、分類和驗證缺陷。包含的比較算法庫允許快速分析歷史數據。此外,計算機還使用高級預測分析來識別用戶並提醒他們註意潛在的過程和過程工具問題。除了自動檢查和分析之外,Archer XT+還提供了對各種可視化工具的訪問。這包括用於復合缺陷分析的多圖像對齊、用於復雜缺陷分析的多變量分析以及檢測和比較特征與規範的能力。提供的Wafer和Mask Strip Analysis功能支持即時、多圖像導航和高級圖像分析例程。KLA/TENCOR Archer XT+是一種用於掩模、晶圓和模具生產的最佳計量解決方案。其先進的結果準確性、強大的算法、自動缺陷檢測和分類以及可視化功能使其成為流程優化和高級缺陷管理的理想工具。