二手 KLA / TENCOR Archer XT+ #9231431 待售

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ID: 9231431
晶圓大小: 12"
優質的: 2007
Overlay measurement system, 12" 2007 vintage.
KLA/TENCOR Archer XT+面膜和晶片檢測設備是一種綜合的網頁控制系統,用於檢測復雜的面膜和晶片圖樣。該裝置利用多種先進技術,在納米級檢測和糾正復雜缺陷,確保了工藝精度和產量的最高水平。XT+機器包括先進的缺陷檢測與分類(DD&C)技術,它結合了多種光學技術和復雜的圖像處理技術來檢測和定位掩模和晶圓圖樣中的亞微米缺陷。DD&C使用的算法可以分析多種選項,包括航空圖像、散射測量、光掩模圖像、焦點序列、活動相位對比度、微弱散射測量和暗場成像。該工具可以檢測到較小的特征尺寸,以及識別結構缺陷、光掩模缺陷和被困電荷等關鍵缺陷。XT+資產還配備了一個巖石計量平臺,能夠對尺寸長短間距特征進行亞微米檢測。這大大降低了缺陷密度,從而改善了過程控制並提高了生產率。XT+包括薄膜應力計量,允許用戶測量特征的線性,從而實現更精確的過程建模和更好地采購高質量的材料。該模型還配備了自動臨界維度(CD)計量,它提供了整個晶圓過程變化的精確測量。XT+設備能夠使用先進的模式識別技術實現自動跟蹤和缺陷定位。還配備了高速智能缺陷登記系統,用於快速缺陷分類驗證。XT+還提供多種Web控制安全功能,包括屏幕鎖定計時器、訪問控制和數據加密。KLA Archer XT+面膜和晶片檢測儀是一種用於檢測復雜的面膜和晶片圖樣的綜合機器。它結合了先進的DD&C技術、巖性計量平臺、薄膜應力計量和自動CD計量,提供了最高水平的精度和產量。自動缺陷跟蹤、缺陷定位、智能缺陷登記,確保缺陷快速分類驗證。此外,XT+工具還具有多種Web控制安全功能,以增強安全性。這使得TENCOR Archer XT+掩模和晶片檢測資產成為檢測復雜晶片和掩模的絕佳選擇。
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