二手 KLA / TENCOR Archer XT+ #9256573 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
KLA/TENCOR Archer XT+是為半導體工業中要求最苛刻的工藝控制應用而設計的掩模和晶圓檢測設備。該系統采用先進的自動化計量技術和先進的軟件，對生產和研究晶片進行快速、本地化的測量。KLA Archer XT+單元采用獨特的雙光束成像機，提供半導體特征的高分辨率圖像，包括閘層、多晶矽圖案和擴散線。該工具提供了從可視化概述到納米級特征表征的多個分辨率級別的自動化計量功能。這樣可以準確確定特征參數,包括線寬、叠加對齊、臨界尺寸（CD）和工藝變化。通過使用可選的集成二次電子成像資產（SEI），TENCOR Archer XT+用戶還可以檢查晶圓的表面性質。Archer XT+模型還提供了串聯成像功能,具有可選的數字圖像關聯（DIC）和無掩碼成像系統。這使設備能夠快速分析掩模模式並生成詳細的圖像以進行缺陷檢查。通過添加AreaGap系統,可以配置KLA/TENCOR Archer XT+以映射和表征三維（3D）模式。該單元還配備了數據分析、缺陷檢測、過程控制等先進軟件應用。內置的生產效率工具使用戶能夠生成有關缺陷類別、光掩碼差異以及用於過程控制的其他關鍵指標的全面報告。這些應用結合KLA Archer XT+的高分辨率計量功能，為用戶提供高精度、快速周轉時間和改進的過程控制。
還沒有評論