二手 KLA / TENCOR Archer XT+ #9272511 待售

KLA/TENCOR Archer XT+是一款先進的掩模和晶圓檢測設備,可實現非常高分辨率的2D和3D檢測掃描,包括密集圖樣、高長寬比接觸孔、低對比度特征、衍生物等挑戰。該系統可確保更快的周期時間、更高的缺陷檢測率、更好的缺陷分類準確性,並通過基於經驗的校正提高結果。借助先進的計算成像（CI）技術,KLA Archer XT+為半導體制造商提供了對復雜模式的特殊觀察,以便能夠快速準確地識別缺陷。它具有一個場發射電子束源，在一次掃描中掃描和檢查範圍高達25000X的晶圓和掩碼。該裝置由一臺最先進的自動化電磁機輔助，以提高準確性、重復性和可追蹤性。此外,還具有一系列用於高分辨率口罩和標線的檢查功能,如叠加檢查、對比興趣（CI）檢查和設計為檢查（DFI）功能,這些功能旨在檢測模式中的每一個微觀級別缺陷。除此之外,TENCOR Archer XT+還加載了其他功能,例如：確保高效操作的自動化操作功能。為滿足最具挑戰性的結構的要求而量身定制的高級缺陷識別功能。綜合缺陷分類，提供有關發現缺陷類型的必要細節。強大的圖像數據采集（IDA）軟件,用於指導和驗證檢查過程的結果。可升級的功能和軟件包,可幫助用戶跟上最新技術的發展。所有這些功能使用戶能夠及早發現潛在的設計問題,精確確定缺陷的優先級,並通過一系列掃描後3D效果來保持產量,從而最大限度地提高吞吐量。這些使Archer XT+成為制造精密口罩、晶片和設備的可靠而全面的工具。