二手 KLA / TENCOR Archer #9152895 待售

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ID: 9152895
Dual FOUP handler Pre aligner.
KLA/TENCOR Archer是一種自動掩模和晶圓檢測設備,設計用於檢測納米級的缺陷。它由一個子路徑單元(SPU)、一個成像系統和一個計算機輔助設計(CAD)單元組成。SPU由兩個在X和Y方向上移動的機動表組成,允許掃描X、Y和θ(傾斜)軸上的樣本。輔助和主要掃描儀是用來獲取樣本圖像的組件。二次掃描儀有一個CCD相機獲取樣品的數字圖像,還有一個激光二極管測量樣品的步長。安裝在SPU上的主掃描儀包括CCD相機和激光二極管,用於聚焦和高分辨率成像。CAD計算機用於存儲和組織數據以及創建要檢查的陣列的掩碼或布局。KLA Archer通過明暗場成像、相位對比成像和圖像減法等多種技術檢查缺陷。亮場成像利用高強度光通過反射光的強度檢測缺陷的存在。暗場成像以強度較低的光作為參考,通過反射光強度的變化檢測缺陷。相差成像用於檢測氧化物和矽片之間的界面。圖像減法用於從參考圖像中減去曲面圖像,以檢測曲面特征的變化。該工具還具有高級圖像處理功能,可識別潛在異常並檢測高精度異常。此外,TENCOR Archer還可以集成到現有的工藝流程中,以加強現有的物料分析、故障診斷、控制和產量管理。通過其雙分辨率技術,資產可以檢測和糾正小區域的缺陷,如接觸孔。最後,模型自動記錄測量結果,並可以標準格式存儲數據。此數據用於分析趨勢、生成報告和加強數據收集。總體而言,Archer是一種自動化、高速、高分辨率的掩模和晶圓檢測設備。通過提供納米級的缺陷檢測,該系統適用於半導體、平板顯示器、磁盤驅動器制造等多個行業的缺陷檢測。
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