二手 KLA / TENCOR Archer #9199198 待售

KLA/TENCOR Archer是一種自動化、高放大倍率、掩模和晶圓檢測設備，專為半導體制造工藝而設計。它利用先進的光學和圖像處理技術來檢測和表征加工過的掩模和晶片基板上的缺陷。該系統精確地檢查半導體晶片和掩模的一系列缺陷類型，如線條和點圖樣、應力、碎片、非均勻填充的接口和非均勻開發的結構。它還可以測量固定模式結構的電性能。該單元包括兩個組件：一個成像機和一個檢查頭模塊.成像工具包括用於捕獲缺陷圖像的大面積CCD（電荷耦合設備）。此外，高分辨率顯微鏡提供了一個光學圖像的準確缺陷定位和識別。可調照明資產使模型能夠創建具有更緊密公差和更復雜陣列的下一代掩碼。檢測頭模塊包括一個特殊的缺陷測量子系統，它使用自動化算法來計算缺陷特性。該模塊與精確的對齊子系統集成在一起，有助於確保晶圓和掩碼上的線條和圖案特征能夠進行比較和正確對齊。KLA Archer設備具有卓越的可靠性和可重復性,能夠快速、精確地進行檢查和測量。它采用靈活的自動化解決方案,可降低半導體檢測過程的成本並提高其吞吐量。該系統的功能提供了高質量的解決方案,可幫助半導體制造商快速準確地檢測和隔離關鍵缺陷。這有助於提高工藝和材料制造設備的產量和質量。