二手 KLA / TENCOR Archer #9386838 待售

KLA/TENCOR Archer是一種用於半導體制造的用於檢測晶圓表面缺陷的掩模和晶圓檢測設備。該系統由圖像傳感器、光源、光學組件和復雜的軟件算法組成。它使用多波長照明和相移來掃描每個晶圓，以識別指示表面缺陷的明暗區域的模式。單元中的圖像傳感器能夠從不同角度和不同深度捕獲高分辨率圖像的圖樣。這可以通過使用亮場、暗場、斜光和偏振光來實現。收集的數據隨後由機器強大的軟件算法處理，並結合起來創建詳細的3D曲面圖像。工具中的光源是紫外線和紅外光的高度可調、可優化的光源。該資產還使用模模叠加和焦點變化模式等功能。模對模叠加允許模型比較不同的掃描，焦點變化模式提供更精確和詳細的測量。設備的光學元件，如透鏡、鏡子和濾鏡，用於提升捕獲圖像的質量。這些透鏡通過在不同方向上折射光線，幫助準確地捕捉到詳細的圖像，而濾鏡則用來消除圖像中不需要的噪聲。反射鏡還有助於傾斜圖像傳感器並提供不同的圖像角度。KLA Archer是一個先進的掩模和晶圓檢測系統，能夠檢測到尺寸小至5nm的缺陷。這個單元使用最新的技術和復雜的算法來捕捉晶圓的高度精確和詳細的圖像。它旨在提高生產效率，減少返工和更換成本，並確保最優質的產品。