二手 KLA / TENCOR ATL-100 #293651145 待售

KLA/TENCOR ATL-100是一種掩模和晶片檢測設備,旨在快速準確地檢測可能影響半導體器件性能的缺陷。該系統利用先進的雙視圖成像技術來產生高分辨率的掩模和晶圓表面圖像。KLA ATL-100檢測單元是一個完全集成的自動化機器,包括TENCOR ATL-100檢測平臺、掃描點顯微鏡（SSM）傳感器和pcom™自動缺陷檢測軟件。ATL-100通過將亞波長光學和Motion Vision AE算法與KLA著名缺陷分類專業知識相結合,提供卓越的缺陷檢測、分類和審核功能。KLA/TENCOR ATL-100檢測平臺可以檢測B-Si、多晶矽和FIB絲等多種面膜以及多種晶圓技術，包括光刻、濺射和CMP。通過結合先進的光學技術和高分辨率成像傳感器，KLA ATL-100提供了涵蓋廣泛缺陷特性的全場、基於晶粒噪聲的缺陷檢測。掃描點顯微鏡（Scanning Spot Microscope, SSM）傳感器是一種集成光學檢查解決方案，利用亞波長分辨率檢測光掩模、晶片和放置目標上的缺陷。SSM傳感器使用一個可以在1.5KHz移動的視場,以及一個具有高速、高功率脈沖激光器的光源。SSM傳感器捕獲可以使用自動缺陷查看軟件查看和分析pcom™缺陷圖像。pcom™自動化缺陷審查軟件是一種全自動缺陷審查工具,包括實時缺陷管理、缺陷分類和後處理解決方案。這款缺陷審查軟件采用獨特的自學算法，對缺陷狀態進行可靠準確的檢測、分類和報告，為用戶提供全面的缺陷圖片和全場、亞波長缺陷檢測能力。此外，pcom™資產的自動化審查能力加強了檢查質量和成本效率。TENCOR ATL-100掩模和晶圓檢測設備具有先進的光學和成像技術集成模型、先進的缺陷審查軟件和直觀的用戶界面,是一種先進的前沿解決方案。該系統提供了最高的產量和準確性,同時利用最高的檢查準確性、自動缺陷審查功能和擴展的吞吐量,最大限度地降低了總體擁有成本。