二手 KLA / TENCOR Candela CS20 #293607165 待售
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KLA/TENCOR Candela CS20是一種前沿掩模晶片檢測設備,能夠檢測200 mm以上的半導體晶片。該系統采用HDR-3000混合模式識別技術實現了缺陷和掩碼的自動配準,提供了卓越的靈敏度和準確性。該單元先進的光學設計包括六個紫外線和可見通道,允許檢查掩模或晶圓上的幾種特征,如全視野、線緣和光柵物體。此外,KLA CANDELA CS-20旨在支持一系列材料檢查,包括標線和光掩模,具有超高通量能力,產品壽命不到10年。該機配備了最先進的照明系統和硬件組件,包括亮場、斜角暗場、亮暗場、偏光暗場、斜角亮場。先進的光學工具配備了四個在飛行(OTF)相機,能夠放大功能高達1000倍,允許檢測甚至最小的缺陷在晶圓或面罩。TENCOR CANDELA CS 20還配備了自動缺陷審查(ADR)資產,該資產能夠識別用於圖樣放置的打印拒絕項和X/Y平移錯誤,並提供自動對晶圓的標線檢查。此外,它還配備了圖像分析軟件,包括Auto-Align,以確保對齊精度和Imcover,以提供金屬和非金屬特征缺陷的覆蓋圖。該CS20是晶片和掩模檢驗的理想選擇,並有可能將總缺陷水平降低40%。它可以快速識別、分類和映射缺陷,從而加快分辨率並減少錯誤警報。此外,該模型具有很高的可靠性,具有與最佳行業競爭對手相當的高吞吐量產量和缺陷計數。除了出色的性能外,KLA CANDELA CS 20設計為人性化,具有直觀的圖形用戶界面,為用戶提供了一種更容易檢查、分析和修復晶圓或掩模上的缺陷的方法。總體而言,KLA/TENCOR CANDELA CS-20是一種用於掩模和晶圓檢測的高性能可靠設備。其先進的光學設計和自動化系統提供了準確、高靈敏度的檢查,能夠及時修復缺陷,從而提高產量和生產吞吐量。用戶友好的界面也使它易於使用,幫助降低成本和時間,即使是最復雜的檢查任務。
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